DMD İnce Filmler

DMD

Şeffaf DMD (Dielektrik/Metal/Dielektrik) İnce Filmler

Yüksek optik geçirgenlik, üstün elektriksel iletkenlik ve gelişmiş elektromanyetik koruma performansını aynı yapıda bir araya getiren DMD çok katmanlı ince filmler, TEKNOMA’nın ileri mühendislik ve hassas üretim altyapısıyla geliştirilmektedir.

Mıknatıssal saçtırma teknolojisi kullanılarak üretilen bu yeni nesil kaplamalar; soda-kireç (float) camlar, büyük alan cam yüzeyler, PC, PMMA, PET ve farklı esnek polimer altlıklar üzerine yüksek homojenlikte uygulanabilmektedir.

Büyük alan şeffaf DMD ince film kaplama
DMD kaplamalar, şeffaflık ve iletkenliği aynı yüzeyde bir araya getirir.

Neden TEKNOMA Dielektrik/Metal/Dielektrik İnce Filmler?

Çok Yönlü Performans

Optik şeffaflıktan ödün vermeden düşük yüzey direnci, yüksek elektriksel iletkenlik ve etkin elektromanyetik kalkanlama performansı sağlar.

İleri Optoelektronik

Ultra ince metal ara katmanlar sayesinde EMI kalkanlama, şeffaf radar soğurucu yüzey teknolojileri, kızılötesi yansıtma ve şeffaf iletken yüzey uygulamaları tek platformda birleşir.

Endüstriyel Çözümler

Savunma sanayi, havacılık, akıllı cam teknolojileri ve ileri elektronik sistemler için yenilikçi bir altyapı sunar.

Uygulanabilen Altlıklar

Farklı uygulama gereksinimlerine uyum sağlayabilmek amacıyla üç temel DMD çok katmanlı ince film yapısı üretilmektedir: ITO/Ag/ITO, ZTO/Ag/ZTO ve AZO/Ag/AZO.

  • 2 mm, 3 mm ve 4 mm soda-kireç (float) cam
  • 50 cm × 50 cm büyük alan cam yüzeyler
  • PC (Polikarbonat)
  • PMMA (Polimetil Metakrilat / Akrilik / Pleksiglas)
  • PET (Polietilen Tereftalat)
  • Esnek polimer altlıklar

DMD Yapıları

ITO/Ag/ITO

Endüstriyel standartlarda maksimum performans

ITO/Ag/ITO çok katmanlı ince film yapıları, endüstriyel standartlarda en yüksek optik ve elektriksel performansı hedefleyen uygulamalar için üretilmektedir.

  • Görünür bölgede maksimum şeffaflık ve düşük yüzey direnci sağlar.
  • Üstün termal ve kimyasal kararlılığıyla öne çıkar.
  • Yüksek performanslı elektromanyetik kalkanlama, hassas dokunmatik paneller ve havacılık sanayisine yönelik şeffaf ısıtıcı camlar için yüksek güvenilirlik sunar.
ZTO/Ag/ZTO

Kavisli yüzeyler ve esnek optoelektronik için yenilikçi çözüm

ZTO/Ag/ZTO yapısı, geleneksel kaplamaların bükülebilir veya kavisli yüzeylerde karşılaştığı mikroskobik çatlama sorunlarına karşı geliştirilmiştir.

  • Dış katmanlardaki amorf ZTO, kaplamaya zorlu mekanik koşullara karşı dayanıklı bir koruma kalkanı sağlar.
  • Düz camların yanı sıra kavisli yüzeylerde ve esnek altlıklarda formunu çatlamadan korur.
  • Yüksek elektriksel iletkenlik ve gelişmiş IR yansıtma özelliğiyle RAM/absorber sistemleri, esnek güneş pilleri ve giyilebilir teknolojiler için uygundur.
AZO/Ag/AZO

Sürdürülebilir, çevre dostu ve maliyet etkin kaplama

AZO/Ag/AZO yapısı, geniş alanlı kaplama gereksinimleri ve maliyet odaklı sürdürülebilir projeler için üretilmektedir.

  • İndiyum gibi nadir elementlere olan yapısal bağımlılığı ortadan kaldırarak büyük ölçekli imalatlarda maliyet avantajı sağlar.
  • Low-E özellikleri sayesinde kış aylarında iç ortam ısısını korur, yaz aylarında güneşin termal etkisini minimize eder.
  • Akıllı binalarda enerji verimliliği sağlayan mimari cam uygulamaları ve fotovoltaik panel seri üretimleri için uygundur.

Zamana Karşı Yüksek Kararlılık

TEKNOMA bünyesinde üretilen ITO/Ag/ITO çok katmanlı ince filmlerinin 7 aylık yaşlandırma testleri, optik kararlılığın korunduğunu göstermektedir.

Tablo 1. Kaplamasız ve ITO/Ag/ITO kaplanmış PC numunelerinin 550 nm’deki optik geçirgenlik değerleri.

NumuneKalınlık (nm)İlk optik geçirgenlik (%T)7 ay sonrası optik geçirgenlik (%T)
Kaplamasız-PC-75.875.8
ITO/Ag/ITO/PC100.867.567.1

7 aylık süre sonunda yalnızca %0.4 değişim görülmesi, dış ITO katmanlarının merkezdeki ultra ince Ag ara katmanını atmosferik etkilerden, oksitlenmeden ve nemden izole ettiğini göstermektedir.

Katman Optimizasyonu ve Elektriksel/Optik Veri Analizi

DMD yapısının başarısı, dielektrik ve metal katmanların kalınlık dengesinin hassas şekilde optimize edilmesine bağlıdır.

Tablo 2. SLG ve PET altlıklar üzerinde ZTO, ZTO/Ag ve ZTO/Ag/ZTO kaplamalarının yüzey direnci ve optik özellikleri.

NumuneYüzey direnci SLG (ohm/sq)Yüzey direnci PET (ohm/sq)550 nm %T SLG550 nm %T PET
Kaplamasız--91.659.2
ZTOHR*HR*83.154.9
ZTO/Ag57.014.074.950.9
ZTO/Ag/ZTO12.620.888.962.0

HR*: High Resistance (Yüksek Direnç). ZTO/Ag/ZTO yapısı cam üzerinde 12.6 ohm/sq yüzey direncine ulaşırken geçirgenliği %88.9 seviyesine çıkarır.

ZTO/Ag/ZTO çok katmanlı ince film kaplamasının görseli.
ZTO/Ag/ZTO çok katmanlı ince film kaplamasının görseli.

Geleneksel ITO ile Yapısal ve Performans Karşılaştırması

AZO/Ag/AZO çok katmanlı yapısı, endüstride yaygın olarak kullanılan kalın tek katmanlı ITO kaplamalara karşı hem performans hem de malzeme tasarrufu açısından güçlü bir alternatiftir.

Geleneksel tek katmanlı ITO (200 nm) ile ultra ince AZO/Ag/AZO (64 nm toplam kalınlık) mimarisinin karşılaştırması.
Geleneksel tek katmanlı ITO (200 nm) ile ultra ince AZO/Ag/AZO (64 nm toplam kalınlık) mimarisinin karşılaştırması.

Tablo 3. Standart cam, ITO ve AZO/Ag/AZO kalınlık, yüzey direnci ve optik geçirgenlik değerleri.

MalzemeKalınlık (nm)Yüzey direnci (ohm/sq)550 nm %T
Kaplamasız Standart Cam (SLG)--91.6
Tek Katman Konvansiyonel Cam (SLG/ITO)20017.584.6
TEKNOMA Çok Katmanlı Cam (SLG/AZO/Ag/AZO)25/14/256.091.2

Performans Analizi ve Optoelektronik Veriler

ZTO/Ag/ZTO kaplamaların cam ve esnek polimer altlıklar üzerindeki elektriksel ve optik performansı literatür referanslarıyla desteklenmiştir.

Tablo 4. ZTO/Ag/ZTO çok katmanlı filmlerin farklı altlıklar üzerindeki optik geçirgenlik ve yüzey direnci verileri.

NumuneYüzey direnci (ohm/sq)550 nm %T
SLG (Standart Cam)-91.6
ZTO/Ag/ZTO/SLG8.6 ± 0.291.2
PC (Polikarbonat)-75.7
ZTO/Ag/ZTO/PC6.7 ± 0.277.2
PET (Polietilen Tereftalat)-59.2
ZTO/Ag/ZTO/PET11.2 ± 0.262.0

Tablo 5. Referans TCO kaplamalarının fiziksel ve optik parametreleri.

TCOOrtalama yüzey direnci (Ω/sq)Ortalama kalınlık (nm)%T @ 545 nmΔ%T (350-750 nm)
ITO12.65 ± 0.26190.88 ± 0.9886.6782.62
ZAZ9.94 ± 1.0655.69 ± 3.9690.3287.46
SLG, PET ve PC altlıklar üzerine uygulanan ZTO/Ag/ZTO çok katmanlı ince filmlerinin optik geçirgenlik spektrumları.
SLG, PET ve PC altlıklar üzerine uygulanan ZTO/Ag/ZTO çok katmanlı ince filmlerinin optik geçirgenlik spektrumları.
AZO/Ag/AZO, ITO/Ag/ITO ve ZTO/Ag/ZTO ince filmlerinin kesit SEM görüntüleri.
AZO/Ag/AZO, ITO/Ag/ITO ve ZTO/Ag/ZTO ince filmlerinin kesit SEM görüntüleri.

Üretim Süreçleri ve Tedarik Çözümleri

  • TEKNOMA, yüksek performanslı ürünün yanında üretim süreçlerinize uyum sağlayan esnek bir çözüm ortaklığı sunar.
  • İhtiyaca uygun kalınlıktaki altlıklar üzerine mıknatıssal saçtırma hassasiyetiyle yüksek kaliteli kaplama yapılabilir.
  • Standart üretim bandında yer alan 2 mm, 3 mm ve 4 mm float cam seçenekleri imalat süreçlerine hız katar; kullanılacak cam kalınlığı kaplama birim maliyetini etkilemez.
  • Yüksek hacimli seri üretim talepleri, uygulamaya özel optik modelleme ihtiyaçları ve teknik destek için Ar-Ge ekibiyle doğrudan iletişime geçilebilir.

Kaynakça

  1. Ekmekcioglu, M., Erdogan, N., Astarlioglu, A. T., Yigen, S., Aygun, G., Ozyuzer, L., & Ozdemir, M. (2021). High transparent, low surface resistance ZTO/Ag/ZTO multilayer thin film electrodes on glass and polymer substrates. Vacuum, 187, 110100. DOI
  2. Bozkurt, H., Ekmekcioglu, M., Ozdemir, M., Aygun, G., Ozyuzer, L., & Varlikli, C. (2021). Electroluminesence Properties and Stability of Super Yellow on ZAZ and ITO Anodes. 2021 5th International Symposium on Multidisciplinary Studies and Innovative Technologies (ISMSIT), 356-359. DOI
  3. Ozbay, S., Erdogan, N., Erden, F., Ekmekcioglu, M., Rakop, B., Ozdemir, M., Aygun, G., & Ozyuzer, L. (2021). Surface free energy and wettability properties of transparent conducting oxide-based films with Ag interlayer. Applied Surface Science, 567, 150901. DOI